扫描电镜常见故障及原因分析

1、仪器抽真空速度很慢

可能是放入的样品受潮或送样杆污染引起样品交换室发生稍微漏气。首先取出样品，用红外灯烘烤，观察无样品时的抽真空速度。若取出样品后，抽真空速度还是很慢，可能是送样杆受到污染，此时可以先用无毛纸蘸少量酒精清洁送样杆，之后在送样杆表面均匀涂上真空油脂。

2、电镜开机加高压测试时，屏幕不显示图像

灯丝烧断导致不通电或屏幕显示的亮度和对比度不合适。

3、循环水箱里铜管上结冰严重，循环水箱燥音较大。

氟利昂制冷剂不够，找空调维修工人上门加氟利昂。

4、无图像

①电子束太弱或没有电子束产生。

②闪烁体在长时间高束流的照射下其性能降低。

③没有二次电子产生。

5、开机后机械泵不工作

控制机械泵工作的电源集成板可能出现问题，进行检修排查哪个电器元件有问题。

6、图像雪花点严重

灯丝状态不稳定，电流不稳定。调节灯丝饱和点。