扫描电镜又叫SEM,一种用于高分辨率微区形貌分析的大型精密仪器,广泛应用于陶瓷、纳米材料等的研究。
扫描电镜作为精密仪器,且造价高昂,因此在日常使用的时候需要严格遵守操作规程,注意以下操作事项:
1、待测样品需要保持干燥,无挥发性,有导电性,能与样品台牢固粘结,热稳性要好,且不会被电子束分解。
2、对于含水的生物样品,需要经过化学或物理方法固定、脱水和干燥后再进行观察。
3、样品在制备、拿取和保存过程中,佩戴干净无粉手套,使用的剪刀等制样工具亦要保持干净。
4、观察磁性材料时需要格外小心,利用压缩气体严格吹扫。同时一些较强磁性材料还需要进行消磁处理。
5、亮度调整切忌忽大忽小,也不要过亮,影响灯泡的使用寿命,同时也有损视力。
6、在做切换动作时,动作要轻,要到位,关机时要将亮度调到小。
7、更换卤素灯时要注意高温,以免灼伤;注意不要用手直接接触卤素灯的玻璃体。
8、测量之前,一定要进行抽真空处理,否则会因为空气的存在会使的电子束变型,影响扫描效果。
9、对于导电性不好的样品必须蒸镀导电层。
10、真空控制方式从手动转自动时,要特别注意每个手动阀门是否为关闭状态。
11、在没有进入高真空之前,决不能接通探测器高压,电子枪及灯丝加热电源。
12、如果镜筒部分没有放气,不要拔掉物镜光阑杆。
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